材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征
材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征
材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征 ——SEM+EDS
基本原理：
電子槍發(fā)出電子，經(jīng)過(guò)加速電壓加速后轟擊到測(cè)試樣品表面，激發(fā)出各種信號(hào)，其中有二次電子（SEI），被散射電子（BEI），特征X-ray，俄歇電子等信號(hào)，其中SEI及BEI用于成像，特征X-ray則用于材料表面元素分析。
目的意義：
通過(guò)對(duì)涂鍍層、形貌、表面元素的測(cè)試，可以監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量，有助于改善工藝。
樣品的要求：
非磁性，不易潮解，且無(wú)揮發(fā)性的固態(tài)樣品，尺寸要求：小于3CM*3CM*3CM樣品。若樣品不符合要求尺寸，須告知樣品可否破壞！
測(cè)試項(xiàng)目：
1.表面形貌觀察，斷口觀察 ：JY/T 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則
2.微薄鍍層厚度測(cè)量 ：GB/T 16594-1996 微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量
3.表面元素定性半定量分析 ：GB/T 17359-1998 電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則
4.錫須觀察 :JESD 22a121